马娟从显微镜下让开,高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外,显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛,但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看,急着往视场里看去。

        显微镜里,两次光刻的痕迹非常明显,一条叠在另一条上面,重合度非常高。

        两次光刻的痕迹,两边各露出来一小部分,这部分的单边宽度,基本上就是套刻误差了,粗粗看去,目测连整个线宽的一小半都不到。

        “好!太好了!马娟,你们选取一些典型点位,要覆盖到整个硅片,马上做个比较全面的测量比较。”

        另外一个试验人员走了上来,和马娟一起,一边找点,一边测量,一边记录。

        时间的相对论在这里体现得淋漓尽致,马娟她们觉得时间过得很快,而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。

        又快又慢的一段时间过去后,试验人员在计算机面前坐下来,开始将数据输入计算机,这种简单统计分析,他们都是直接在源代码里敲数据。

        处理算法的C代码早就写好了,现在他们就是在往一个数组里填数据而已。

        这种办法,好就好在处理算法可以随时根据需要修改。

        键盘声啪啪作响,现场人员的心情反而安定下来,从刚才他们测量中报的数来看,这个结果差不了。

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